水質(zhì)指標(biāo)
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中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)行業(yè)超純水標(biāo)準(zhǔn)
中國電子行業(yè)超純水國家標(biāo)準(zhǔn) (GB/T11446.1-1997 )
指 標(biāo) 名 稱
一 級 水（EW-1）
二 級 水（EW-2）
電阻率MΩ.CM. （25℃）
18(95‰時間)不低于17
15(95‰時間)不低于13
硅 ≤μg/L
2
10
微粒數(shù) ＞1μm
0.1
5
細(xì)菌個數(shù) ≤個/ml
0.01
銅 ≤μg/L
0.2
1
鋅 ≤μg/L
鎳 ≤μg/L
鈉 ≤μg/L
0.5
鉀 ≤μg/L
氯 ≤μg/L
硝酸根 ≤μg/L
磷酸根 ≤μg/L
硫酸根 ≤μg/L
總有機(jī)碳 ≤μg/L
20
100
中國國家電子級超純水GB/TII446.1－1997標(biāo)準(zhǔn)
指標(biāo)\級別
EW－Ⅰ
EW－Ⅱ
EW－Ⅲ
EW-Ⅳ
電阻率 MΩ，cm(25℃)
18以上，（95％時間）不低于17
15，（95％時間）不低于13
12.0
全硅，最大值,μg/L
50
1000
＞1μm微粒數(shù)，最大值，個/mL
500
細(xì)菌個數(shù)，最大值，個/mL
銅，最大值，μg/L
鋅，最大值，μg/L
鎳，最大值，μg/L
鈉，最大值，μg/L
鉀，最大值，μg/L
氯，最大值，μg/L
硝酸根，最大值，μg/L
磷酸根，最大值，μg/L
硫酸根，最大值，μg/L
總有機(jī)酸，最大值，μg/L
200
中國實(shí)驗(yàn)室用水國家標(biāo)準(zhǔn) 實(shí)驗(yàn)用三個等級凈化水的技術(shù)要求(GB6682－1992)
一級水：基本上不含有溶解或膠態(tài)離子雜質(zhì)及有機(jī)物。它可用二級水經(jīng)進(jìn)一步處理而制得。 二級水：可含有微量的無機(jī)、有機(jī)或膠態(tài)雜質(zhì)。 三級水：適用一般實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)工作。
一 級
二 級
三 級
pH值范圍（25oC )
—
5.0-7.5
電導(dǎo)率 （25oC )(μs/cm) ≤
1.0
5.0
可氧化物的限度試驗(yàn)
符合
吸光度(254nm,1cm 光程) ≤
0.001
二氧化硅(mg/L) ≤
0.02
0.05
中國實(shí)驗(yàn)室用水國家標(biāo)準(zhǔn) 實(shí)驗(yàn)用三個等級凈化水的技術(shù)要求(GB6682－2008) 純水水質(zhì)按照GB6682-2008水標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行分類，可以分為以下三類：（1）三級水標(biāo)準(zhǔn)，電阻率0.2 MΩ.cm @ 25℃；（2）二級水標(biāo)準(zhǔn),電阻率≥1MΩ.cm @25℃； （3）一級水標(biāo)準(zhǔn),電阻率≥18 .25MΩ.cm@25℃。
指標(biāo)
一級
二級
三級
pH值范圍（25℃）
--
電導(dǎo)率（25℃），mS/m. ≤
0.10
0.50
可氧化物質(zhì)（以0計），mg/L ＜
0.08
0.4
吸光度（254nm,1cm光程） ≤
蒸發(fā)殘渣（105°±2℃），mg/L ≤
2.0
可溶性硅（以SiO2計）mg/L ＜
